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微纳加工与材料合成
理论计算与仿真
以下是微纳光子学与材料国际实验室所具有的平台能力和设备情况。除此之外,我们还拥有中科院长春光机所其他设备的使用权限。
纳秒激光微纳加工系统
化学平台
高真空多靶磁控溅射镀膜机
低温真空系统
高真空电阻蒸发镀膜机
高速离心研磨抛光机
压印机
管式炉
超级净化手套箱
通风橱
高温烧结炉
等离子清洗机
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