短脉冲激光微纳加工平台
实验室自主搭建的短脉冲激光微纳加工平台能够利用多种材料的激光诱导等离子体羽流产生800 nm飞秒脉冲的谐波。激光器波长1064 nm、二次谐波532 nm和三次谐波355 nm,重复频率10 ~ 1 Hz,脉冲持续时间~5 ns。最大能量800 mJ (@ 1064 nm, 10 Hz, 5 ns)。